Zusammensetzungen und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Titannitrid

EP2964725 Art B1 23. Juni 2021

Anmelder: Entegris, Inc., Entegris Asia LLC, Atmi Taiwan Co., Ltd., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Firmen: Entegris, Inc.
Entegris Asia LLC
Atmi Taiwan Co., Ltd.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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