Ionenimplantationszusammensetzungen, Systeme und Verfahren

EP2965347 Art A1 13. Januar 2016

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2965347
Aktenzeichen
EP14760985
Anmeldetag
3. März 2014
Veröffentlichung
13. Januar 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/265C23C14/48H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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