Beleuchtungsoptik sowie Abbildende Optik für ein Metrologiesystem für die Untersuchung eines Objekts mit Euv-Beleuchtungs- und Abbildungslicht sowie Metrologiesystem mit einer Derartigen Beleuchtungsoptik Bzw. einer Derartigen Abbildungsoptik

EP2966489 Art A1 13. Januar 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2966489
Aktenzeichen: EP15173788
Anmeldetag: 25. Juni 2015
Veröffentlichung: 13. Januar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G02B13/14G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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