Substratträger und Verfahren zum Tragen eines Substrats

EP2971225 Art B1 22. Februar 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2971225
Aktenzeichen: EP13711867
Anmeldetag: 15. März 2013
Veröffentlichung: 22. Februar 2017
Erteilung: 22. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50C03C17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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