Laserabtastverfahren zur Minimierung Thermischer Effekte
EP2972240
Art A1
20. Januar 2016
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2972240
- Aktenzeichen
- EP14764585
- Anmeldetag
- 14. März 2014
- Veröffentlichung
- 20. Januar 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/71G01N21/63H05H1/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Electro Scientific Industries, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
334 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Cassie, Matthew David
London, Großbritannien
56
Patente gesamt
20
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
HGF
HGF · München