Polierkissen und Polierverfahren

EP2974829 Art B1 19. Juni 2019

Anmelder: Kyushu University, National University Corporation, Fujibo Holdings, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2974829
Aktenzeichen
EP14762618
Anmeldetag
27. Februar 2014
Veröffentlichung
19. Juni 2019
Erteilung
19. Juni 2019
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/24H01L21/304B24D11/00B24B37/22B24D13/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Kyushu University, National University Corporation
Fujibo Holdings, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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