Vorrichtung zum Schutz einer Elektrodendichtung in einem Reaktor zur Abscheidung von Polykristallinem Silicium

EP2976152 Art B1 18. Oktober 2017

Anmelder: Wacker Chemie AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2976152
Aktenzeichen
EP14706636
Anmeldetag
26. Februar 2014
Veröffentlichung
18. Oktober 2017
Erteilung
18. Oktober 2017
Rechtsraum
EP
IPC
B01J15/00C01B33/035H01J37/32B01J19/00B01J19/08C23C16/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Wacker Chemie AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Wacker Chemie

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in München, spezialisiert auf Silicone, Polymere und polykristallines Silizium für die Halbleiter- und Solarindustrie. Das Unternehmen wurde 1914 gegründet.

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