Vorrichtung zur Bestimmung der Ladungsträgerlebensdauer eines Halbleitersubstrates durch Messung von Lumineszenzstrahlung und Kalibrierverfahren zur Kalibrierung einer Solchen Vorrichtung

EP2976651 Art B1 28. Oktober 2020

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2976651
Aktenzeichen: EP14712646
Anmeldetag: 21. März 2014
Veröffentlichung: 28. Oktober 2020
Erteilung: 28. Oktober 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/26G01N21/66H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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