Polymer mit Silikonstruktur, Negative Resistzusammensetzung, Lichthärtbarer Trockenfilm, Strukturierungsverfahren und Schutzfolie für Elektrische/elektronische Teile

EP2980172 Art B1 2. November 2016

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2980172
Aktenzeichen
EP15178644
Anmeldetag
28. Juli 2015
Veröffentlichung
2. November 2016
Erteilung
2. November 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C09D183/14C08L83/14G03F7/075H01L21/312
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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