Zylinderförmiges Sputtertarget und Verfahren zur Herstellung davon

EP2980268 Art B1 2. Juni 2021

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2980268
Aktenzeichen: EP14773134
Anmeldetag: 27. März 2014
Veröffentlichung: 2. Juni 2021
Erteilung: 2. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34B22D13/02C22C9/00B22D11/00B22D21/02C23C14/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von