Substrattestvorrichtung und Substrattemperatureinstellverfahren

EP2980837 Art A1 3. Februar 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2980837
Aktenzeichen: EP14773832
Anmeldetag: 18. März 2014
Veröffentlichung: 3. Februar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28H01L21/66H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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