Vakuumpump- und -Verminderungssystem und Verfahren zum Spülen des Systems
EP2981635
Art B1
31. Juli 2019
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2981635
- Aktenzeichen
- EP14715103
- Anmeldetag
- 1. April 2014
- Veröffentlichung
- 31. Juli 2019
- Erteilung
- 31. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44F23G7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Norton, Ian Andrew
Burgess Hill, Großbritannien
310
Patente gesamt
18
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Clark, Charles Robert
NoneWest