Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung Ultrakurzer Laserimpulse

EP2982012 Art A2 10. Februar 2016

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2982012
Aktenzeichen
EP14752654
Anmeldetag
31. März 2014
Veröffentlichung
10. Februar 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/00H01S3/067H01S3/23
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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