Verfahren zur Herstellung eines Speicherelements mit Schwebegatter

EP2983196 Art A1 10. Februar 2016

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2983196
Aktenzeichen: EP14180191
Anmeldetag: 7. August 2014
Veröffentlichung: 10. Februar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/28H01L29/423H01L29/66H01L27/115

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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