Träger für Halbleiterverfahren
EP2983199
Art B1
3. März 2021
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Carrier Integration Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2983199
- Aktenzeichen
- EP13880950
- Anmeldetag
- 24. Oktober 2013
- Veröffentlichung
- 3. März 2021
- Erteilung
- 3. März 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Carrier Integration Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
147 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bennett, Nicholas
London, Großbritannien
63
Patente gesamt
25
Fachgebiete
11
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Schwerpunkte