Formmessvorrichtung, Strukturherstellungssystem, Formmessverfahren, Strukturherstellungsverfahren und Formmessprogramm

EP2985565 Art A1 17. Februar 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2985565
Aktenzeichen: EP14773174
Anmeldetag: 14. März 2014
Veröffentlichung: 17. Februar 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/24G01B11/00G06T7/00G01B11/25

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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