Verfahren zur Analyse Und/oder Verarbeitung eines Objekts sowie Teilchenstrahlvorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

EP2988315 Art A3 15. Juni 2016

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2988315
Aktenzeichen
EP15177429
Anmeldetag
20. Juli 2015
Veröffentlichung
15. Juni 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/304H01J37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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