Substratbearbeitungsvorrichtung, Substratbearbeitungsverfahren und Substratbearbeitungssystem

EP2988583 Art B1 10. Oktober 2018

Anmelder: Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2988583
Aktenzeichen: EP14883532
Anmeldetag: 20. Juni 2014
Veröffentlichung: 10. Oktober 2018
Erteilung: 10. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H05K13/00H05K13/08G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Yamaha Hatsudoki Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Yamaha Motor

Japanischer Hersteller mit Sitz in Iwata, der Motorräder, Motoren, Boote und Wassersportfahrzeuge sowie weitere Mobilitäts- und Antriebstechnik entwickelt und produziert.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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