Verfahren zur Siliciumbindung auf einem Substrat

EP2989238 Art A1 2. März 2016

Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2989238
Aktenzeichen
EP14725548
Anmeldetag
28. April 2014
Veröffentlichung
2. März 2016
Rechtsraum
EP
IPC
C30B7/00C30B29/06H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Technische Universiteit Delft
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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