Vorrichtung und Verfahren für Lösungstransfer-Prägelithografie mit Rollenstempel

EP2991100 Art B1 20. März 2019

Anmelder: Korea Institute Of Machinery & Materials 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2991100
Aktenzeichen
EP13882615
Anmeldetag
27. Dezember 2013
Veröffentlichung
20. März 2019
Erteilung
20. März 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Institute Of Machinery & Materials
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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