Chemisch Verstärkter Positiver Lacktrockenfilm, Trockenfilmlaminat und Verfahren zu Herstellung von Laminat

EP2993521 Art B1 22. März 2017

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2993521
Aktenzeichen
EP15182701
Anmeldetag
27. August 2015
Veröffentlichung
22. März 2017
Erteilung
22. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/039G03F7/16
Offizieller Volltext

Abstract

A chemically amplified positive resist dry film to be formed on a support film contains 5-40 wt% of a component having a boiling point of 55-250°C under atmospheric pressure. The resist dry film having flexibility and dimensional stability can be prepared through simple steps. The resist dry film can be efficiently and briefly laid on an article and processed to form a pattern.

Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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