Verarbeitungsvorrichtung, Verarbeitungsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP2993522 Art B1 11. Oktober 2017

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2993522
Aktenzeichen: EP15002510
Anmeldetag: 25. August 2015
Veröffentlichung: 11. Oktober 2017
Erteilung: 11. Oktober 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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