Plasmaerzeugung zur Dünnschichtabscheidung auf Flexiblen Substraten

EP2994553 Art B1 18. Oktober 2017

Anmelder: Lotus Applied Technology, LLC, Toppan Printing Co., Ltd. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2994553
Aktenzeichen
EP14794407
Anmeldetag
1. Mai 2014
Veröffentlichung
18. Oktober 2017
Erteilung
18. Oktober 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/50C23C16/52H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Lotus Applied Technology, LLC
Toppan Printing Co., Ltd.
Land
🇺🇸 USA
🇯🇵 Toppan Printing

Japanischer Konzern für Druck- und Verpackungstechnologien mit Sitz in Tokio, seit 1900 tätig. Produziert zudem Displays, Halbleitermasken und Sicherheitsdrucke.

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