Ausrichtungssensor, Lithografievorrichtung und Ausrichtungsverfahren
EP2994798
Art B1
31. Mai 2017
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2994798
- Aktenzeichen
- EP14724011
- Anmeldetag
- 25. April 2014
- Veröffentlichung
- 31. Mai 2017
- Erteilung
- 31. Mai 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
van de Ven, Jan-Piet
Eindhoven, Niederlande
19
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