Röntgenstrahlvorrichtung und Herstellungsverfahren für eine Struktur

EP2995905 Art B1 11. November 2020

Anmelder: Nikon Corporation, Nikon Metrology NV 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2995905
Aktenzeichen: EP13884256
Anmeldetag: 10. Mai 2013
Veröffentlichung: 11. November 2020
Erteilung: 11. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01B15/04G01N23/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Nikon Metrology NV
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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