Verfahren zur Bewertung der Metallverunreinigung in Bordotierten P-Siliciumwafern, Vorrichtung zur Bewertung von Metallverunreinigung in Bordotierten P-Siliciumwafern und Verfahren zur Herstellung von Bordotierten P-Siliciumwafern

EP2996141 Art A1 16. März 2016

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2996141
Aktenzeichen: EP15183241
Anmeldetag: 1. September 2015
Veröffentlichung: 16. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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