Herstellung von Hochdruck-BF3/H2-Mischungen
EP2997112
Art B1
25. September 2019
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2997112
- Aktenzeichen
- EP14798140
- Anmeldetag
- 15. Mai 2014
- Veröffentlichung
- 25. September 2019
- Erteilung
- 25. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar
-
Awapatent AB
Awapatent AB · Helsingborg