Verformbares Optisches System und Verfahren zur Steuerung davon sowie Lithografiesystem mit dem Verformbaren Optischen System

EP2997409 Art A1 23. März 2016

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2997409
Aktenzeichen: EP14726438
Anmeldetag: 12. Mai 2014
Veröffentlichung: 23. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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