Piezoelektrischer Positionssensor für Piezoelektrisch Angetriebene Resonante Mikrospiegel
EP2998777
Art B1
22. Februar 2023
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2998777
- Aktenzeichen
- EP15183676
- Anmeldetag
- 3. September 2015
- Veröffentlichung
- 22. Februar 2023
- Erteilung
- 22. Februar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B26/08B81B3/00H01L41/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
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