Optisches Element, Optisches Projektionssystem, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung

EP2998980 Art A1 23. März 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2998980
Aktenzeichen: EP14795365
Anmeldetag: 9. Mai 2014
Veröffentlichung: 23. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F1/38G02B5/08G03F7/20G21K1/06G03F7/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von