Trägerplattenvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP2998983 Art B1 21. März 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2998983
Aktenzeichen: EP15192315
Anmeldetag: 21. Dezember 2007
Veröffentlichung: 21. März 2018
Erteilung: 21. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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