Angereicherte Siliciumvorläuferzusammensetzungen sowie Vorrichtung und Verfahren zur Verwendung davon
EP3000123
Art A1
30. März 2016
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3000123
- Aktenzeichen
- EP14800248
- Anmeldetag
- 21. Mai 2014
- Veröffentlichung
- 30. März 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/08H01J37/317H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar
-
Awapatent AB
Awapatent AB · Helsingborg