Verfahren zur Herstellung eines Rohlings aus Fluor- und Titan-dotiertem, hochkieselsäurehaltigem Glas für den Einsatz in der EUV-Lithographie und danach hergestellter Rohling
EP3000791
Art B1
26. April 2017
Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3000791
- Aktenzeichen
- EP14186139
- Anmeldetag
- 24. September 2014
- Veröffentlichung
- 26. April 2017
- Erteilung
- 26. April 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03C3/06C03B19/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Heraeus Quarzglas
Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.
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Fachgebiete
Kanzlei
Patentanwalt Armin Staudt
Hanau, Deutschland
Sammelte erste Berufsjahre in der Industrie, ab 1990 patentanwaltliche Ausbildung bei einem Hanauer Technologieunternehmen, seit 2004 ausschließlich eigene Kanzlei in Hanau. Berät zu Patenten, Gebrauchsmustern, Marken und Designs mit anwendungsnahem, industriegeprägtem Ansatz.
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