Substrathalteverfahren, Substrathaltevorrichtung, Belichtungsverfahren und Belichtungsvorrichtung

EP3001451 Art A1 30. März 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3001451
Aktenzeichen: EP13885187
Anmeldetag: 23. Mai 2013
Veröffentlichung: 30. März 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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