Polymer mit Silikonhauptkette und Verfahren zu dessen Herstellung, Chemisch Verstärkte Negative Resistzusammensetzung, Lichthärtbare Trockene Folie und Verfahren zu deren Herstellung, Strukturierungsverfahren, Schichtwerkstoff und Substrat.
EP3002308
Art B1
8. Februar 2017
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3002308
- Aktenzeichen
- EP15002687
- Anmeldetag
- 16. September 2015
- Veröffentlichung
- 8. Februar 2017
- Erteilung
- 8. Februar 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C08G77/52C08G77/38G03F7/075H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
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