Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines Elektronenstrahlflecks

EP3002776 Art B1 30. November 2016

Anmelder: Peking University School of Software and Microelectronics at Wuxi, Peking University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3002776
Aktenzeichen: EP15183529
Anmeldetag: 2. September 2015
Veröffentlichung: 30. November 2016
Erteilung: 30. November 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Peking University School of Software and Microelectronics at Wuxi
Peking University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Peking University

Peking University ist eine chinesische Eliteuniversität in Peking mit breiter Forschung und Patenten in zahlreichen Technologiefeldern, unter anderem Biotechnologie und Materialwissenschaften.

639 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von