Halbleiterchip

EP3002786 Art B1 26. Mai 2021

Anmelder: Sensirion AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3002786
Aktenzeichen
EP14003420
Anmeldetag
3. Oktober 2014
Veröffentlichung
26. Mai 2021
Erteilung
26. Mai 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L23/58H01L21/78H01L23/00
Offizieller Volltext

Abstract

A sensor chip comprises a substrate (1) and a stack (2) of insulating layers arranged on the substrate. In a centre area (CA) of the sensor chip a sensing element (3) is arranged, as well as a circuit (21) in the stack (2) for electrically connecting the sensing element (3). Between the centre area (CA) and an edge (ED) of the sensor chip a seal ring (SR) and an optical inspection area (OI) are provided. The technique can also be applied with other types of semiconductor chips.

Anmelder

Firma
Sensirion AG
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 Sensirion

Sensirion ist ein Schweizer Hersteller von Umwelt- und Durchflusssensoren mit Sitz in Stäfa. Das Patentportfolio ist stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik fokussiert, ergänzt durch Halbleiterbauelemente und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis in die Gegenwart.

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