Zusammensetzungen und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Titannitrid

EP3004287 Art B1 18. August 2021

Anmelder: Entegris, Inc., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3004287
Aktenzeichen: EP14807521
Anmeldetag: 6. Juni 2014
Veröffentlichung: 18. August 2021
Erteilung: 18. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C09K13/00G03F7/42C23G1/20H01L21/02C11D3/00C11D3/39C11D3/395C11D11/00H01L21/3213

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von

ABG Patentes, S.L Madrid, Spanien

2.380

Patente gesamt

Fachgebiete

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Medizintechnik & Gesundheit Organische Chemie Pharma & Biotechnologie Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Weitere Vertreter