Vorrichtung zur Herstellung von Nanoclustern

EP3006594 Art B1 28. März 2018

Anmelder: Japan Science and Technology Agency, Ayabo Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3006594
Aktenzeichen: EP14803503
Anmeldetag: 26. Mai 2014
Veröffentlichung: 28. März 2018
Erteilung: 28. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/32H01J27/20H01J37/08H01J37/34C23C14/35C23C14/14C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Japan Science and Technology Agency
Ayabo Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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