Abscheidungsvorrichtung

EP3006596 Art B1 3. Januar 2018

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3006596
Aktenzeichen: EP14804632
Anmeldetag: 8. Mai 2014
Veröffentlichung: 3. Januar 2018
Erteilung: 3. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C16/54H01J37/32H01L21/67H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von