Verfahren zur Detektion von Diskontinuitäten in einer Probe durch Analyse von Beugungsbildern

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3006925

Aktenzeichen

EP15188456

Anmeldetag

6. Oktober 2015

Veröffentlichung

15. August 2018

Erteilung

15. August 2018

Rechtsraum

EP

IPC

G01N23/203G01N23/205G01N23/20

Abstract

L'invention concerne un procédé de détection de discontinuités dans un échantillon, l'échantillon comportant une surface s'étendant suivant un plan de référence (X, Y), le procédé comportant les étapes suivantes : o (a) acquisition d'une série d'images de diffraction de la surface de l'échantillon, chaque image de diffraction étant réalisée par illumination de la surface de l'échantillon avec un faisceau de particules apte à être diffracté par la surface de l'échantillon la série d'images de diffraction étant réalisée en déplaçant le faisceau de particules relativement à la surface de l'échantillon suivant une direction X et suivant une direction Y; o (b) pour chaque image de diffraction, détermination d'une quantité de variations d'intensité totale entre cette image de diffraction et chacune des images de diffraction qui sont adjacentes à cette image de diffraction.

Anmelder

Firmen

COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
Université Joseph Fourier - Grenoble
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete