Pellikel, Euv-Belichtungsvorrichtung die das Pellikel Umfasst und Belichtungsverfahren, das das Pellikel Verwendet

EP3007206 Art A1 13. April 2016

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3007206
Aktenzeichen: EP14801099
Anmeldetag: 20. Mai 2014
Veröffentlichung: 13. April 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F1/62// G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsui Chemicals, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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