Verwendung einer Polierzusammensetzung für Siliciumwafer

EP3007213 Art B1 18. März 2020

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3007213
Aktenzeichen: EP14807048
Anmeldetag: 2. Mai 2014
Veröffentlichung: 18. März 2020
Erteilung: 18. März 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02B24B37/04C09K3/14C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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