Einkapselungsstruktur für ein Nano-Objekt mit einem Deckel und einem Substrat, Wobei ein Kontakt durch den Deckel Erstellt Ist, sowie dessen Herstellungsverfahren

EP3007218 Art B1 21. Juni 2017

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3007218
Aktenzeichen
EP15187234
Anmeldetag
28. September 2015
Veröffentlichung
21. Juni 2017
Erteilung
21. Juni 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768B82B3/00H01L23/48
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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