Verfahren zur Überführung einer Schicht von Schaltungen

EP3011588 Art B1 30. Januar 2019

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3011588
Aktenzeichen: EP14750526
Anmeldetag: 16. Juni 2014
Veröffentlichung: 30. Januar 2019
Erteilung: 30. Januar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/56H01L21/78H01L25/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Soitec
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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