Verfahren zur Herstellung einer Öffnung mit glatter vertikaler Seitenwand in einem Halbleitersubstrat

EP3012857 Art A1 27. April 2016

Anmelder: ams AG 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3012857
Aktenzeichen: EP14189757
Anmeldetag: 21. Oktober 2014
Veröffentlichung: 27. April 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ams AG
Land: 🇦🇹 Österreich

🇩🇪 ams OSRAM

ams OSRAM International GmbH ist ein deutsch-österreichischer Hersteller von Sensoren und optoelektronischen Bauteilen, entstanden aus dem Zusammenschluss von ams und Osram.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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