Verfahren zur Herstellung einer Transistorstruktur mit einer flossenförmigen Kanalstruktur

EP3016143 Art B1 6. September 2023

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3016143
Aktenzeichen: EP14191340
Anmeldetag: 31. Oktober 2014
Veröffentlichung: 6. September 2023
Erteilung: 6. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/423H01L29/786H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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