Verfahren zur Inspektion eines Quarzglastiegels

EP3018237 Art A1 11. Mai 2016

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3018237
Aktenzeichen: EP13888584
Anmeldetag: 30. Juni 2013
Veröffentlichung: 11. Mai 2016
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/06C03B20/00C30B15/10G01N21/95G01N21/3563G01N21/65G01N21/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von