Mehrschichtfilmreflektor, Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtfilmreflektors, Optisches Projektionssystem, Belichtungsvorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP3018698 Art B1 22. April 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3018698
Aktenzeichen: EP14819872
Anmeldetag: 3. Juli 2014
Veröffentlichung: 22. April 2020
Erteilung: 22. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B5/08G03F7/20G21K1/00G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NIKON CORPORATION
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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