Verfahren zur Herstellung von Elektrisch Leitfähigen Elementen auf einem Chip und Zugehörige Vorrichtung

EP3020067 Art B1 2. Juni 2021

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3020067
Aktenzeichen: EP14741972
Anmeldetag: 8. Juli 2014
Veröffentlichung: 2. Juni 2021
Erteilung: 2. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/285H01L21/768C23C14/04C23C14/54B23K26/0622B23K26/082B23K26/32B23K26/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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